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设备描述：
1、全自动机械手，伺服控制，运行平稳可靠、准确度高。
2、人机界面显示，操作简单方便。
3、自动送料，可与切片设备小车对接，无需人工搬运。
4、采用喷洗、超声波预洗、热水脱胶工艺。
5、废水循环利用、破片率小于千分之三。
6、6寸和8寸晶圆片通用，12寸晶圆专用。产能效率:每小时 300片-500片
