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设备描述：
采用 Marangoni 干燥法（蒸汽干燥法），通过 IPA 蒸汽与超纯水的界面张力梯度，带动水分从晶圆表面快速脱离，无接触、无划痕；
关键技术参数：
适用对象：6 英寸 / 8 英寸 / 12 英寸晶圆（支持单片或批量处理），兼容凸点晶圆、薄晶圆等特殊类型；
干燥能力：单片干燥时间 10-30 秒，批量（25 片 / 盒）干燥时间 3-8 分钟；
