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设备描述：
1.适应范围： 6~12寸晶圆片清.
2.产能：批量产能 25/50pcs/批 .
3.工艺流程 ：LOAD→SPM→QDR→DHF→QDR→SC1→QDR→SC2→QDR
→DRYING→UNLOAD .
4.主要材料 :金属骨架+PVC/PPW壳板，槽体采用石英/PPN/PTFE材质 .
5.传动：机械臂传送 、节拍时间依工艺5~10min可调.
6.工艺效果：颗粒去除率达0.2um >20颗.
